Piho nga mga Aplikasyon sa Plasma Cleaners

Ang mga makina sa paglimpyo/pag-etching sa plasma makamugna og plasma pinaagi sa pagbutang og duha ka electrodes sa usa ka selyado nga sudlanan aron makahimo og electric field. Ang usa ka vacuum pump gigamit aron mapadayon ang usa ka lebel sa vacuum. Samtang ang gas nahimong mas talagsaon, ang gilay-on tali sa mga molekula ug sa libre nga paglihok sa mga molekula o mga ion usab nagdugang. Ubos sa impluwensya sa natad sa kuryente, kini nga mga ion nagbangga ug nahimong plasma. Kini nga mga ion hilabihan ka reaktibo, nga adunay igo nga kusog aron maputol ang halos tanan nga kemikal nga mga gapos, nga mag-aghat sa mga kemikal nga reaksyon sa bisan unsang nahayag nga nawong. Ang lainlaing mga plasma sa gas adunay lainlaing mga kabtangan sa kemikal. Pananglitan, ang oksiheno nga plasma hilabihan ka oxidizing, nga makahimo sa pag-oxidize sa photoresist aron makahimo og gas, sa ingon makab-ot ang usa ka epekto sa paglimpyo. Ang corrosive gas plasma adunay maayo kaayo nga anisotropy, nga nagtagbo sa mga kinahanglanon sa etching. Ang pagtambal sa plasma nagpatunghag usa ka glow, busa ang ngalan nga glow discharge.
Ang mekanismo sa paghinlo sa plasma nagsalig sa panguna sa "pagpaaktibo" sa mga aktibo nga partikulo sa plasma aron makuha ang mga lama sa nawong. Sa termino sa mekanismo sa reaksyon, ang paglimpyo sa plasma sa kasagaran naglakip sa mosunod nga proseso: ang mga dili organikong gas nahinam ngadto sa usa ka kahimtang sa plasma; gas nga mga butang nga adsorbed ngadto sa solid nga nawong; ang mga adsorbed nga grupo mo-react sa mga molekula sa solid surface aron maporma ang mga molekula sa produkto; ang mga molekula sa produkto madunot ngadto sa bahin sa gas; ug ang mga salin sa reaksyon gikuha gikan sa nawong.

Ang labing hinungdanon nga bahin sa teknolohiya sa paglimpyo sa plasma mao nga kini makatratar sa bisan unsang klase nga substrate, lakip ang mga metal, semiconductors, oxide, ug kadaghanan nga mga materyales nga polymer sama sa polypropylene, polyester, polyimide, polyvinyl chloride, epoxy, ug bisan polytetrafluoroethylene. Mahimong limpyohan niini ang tibuuk nga nawong ug piho nga mga lugar, ingon man ang mga komplikado nga istruktura.